拜安科技 - 高性能光纤传感器

MEMS光学压力变送器

产品概述

PT-MFP 系列 MEMS 光学压力变送器基于高精细度F-P干涉原理，采用MEMS微加工技术制备多光束干涉仪芯片，在高温高压等严苛环境下对液体或者气体压力实现快速测量，并将压力值调制为不受电磁干扰的光波长信号，通过单模石英光纤传输到全光谱分析仪，基于可调谐波长扫描原理完成数字化解调，进行压力转换，分为一体式、分体式两种形态，支持绝压、表压、差压三类测量。

一体式集成传感、解调、显示单元，可现场原位直接安装，适配紧凑型产线。分体式由无源光学前置传感器 + 全光谱分析仪光电分离组成，单台分析仪支持1-3台前置传感器，铠装光纤远距离无衰减传输，实现多点压力集中监测。

该系列变送器可实现低压至30MPa全量程高精度压力检测，搭载全链路智能诊断系统，实时监测设备核心状态并提前预警故障；支持4mA-20mA/0-10V模拟信号、MODBUS、HART等多类型工业信号输出；传感端无有源电路，兼具本安防爆、全电磁抗扰、耐辐照、耐腐蚀优势，产品规避传统电学压力传感器电磁干扰、电火花点火、温漂大、频繁校准等缺陷，全程无电路介入工艺侧，杜绝电火花隐患，可用于易燃易爆、强电磁、高辐射严苛工况。长距离传输，无电磁干扰，信号在远程集中处理和显示，适配各类工业应用场景，为半导体、光伏、核能、化工、电力等过程工业高严苛工况提供高精度、长稳定压力在线监测方案。

产品形态

优势特点

◆超高测量精度，长期稳定免校准

▸ 测量精度区间：±0.05% F.S～±0.1% F.S；
▸ 分辨力高达 0.002% F.S；
▸ 超低零点漂移：月稳定性可达±0.01% F.S，15 年长期总漂移控制在 0.1% F.S以内，无需频繁停机校准；
▸ 直接介质测量，不受混合气体组分干扰，重复性能优异。

◆无源本安架构，全场景环境适配

▸ 测量探头完全无源无电路，本安防爆等级Exop is IIC T4，适配危化品等易燃易爆工艺；
▸ 全频段 EMC 电磁抗扰，高压母线、变频器、射频设备周边测量无偏差；
▸ 取压主体结构采用 316L不锈钢材质，可选防腐镀膜，耐受 HF、强碱等强腐蚀介质。

◆机械可靠性强，宽温抗振抗过载

▸ 过载能力优异，可承受 3～5 倍额定压力瞬时冲击，传感芯片不易损坏；
▸ 全域宽温数字补偿算法，高低温工况有效抑制温漂，极端环境长期稳定运行；
▸ 高标准抗振性能：10Hz～150Hz、3g 振动下测量误差≤±0.003% FS；
▸ 150Hz～2000Hz、1g 振动下测量误差≤±0.01% FS。

◆超快动态响应，捕捉瞬时压力波动

▸ 10%～90% F.S 量程阶跃响应时间＜20ms；动态采集速度快；
▸ 实时跟随工况压力快速变化，适配脉冲压力、动态闭环工艺监测需求。

◆光纤光电分离，远程多路组网运维

▸ 光电分离分体架构，传感器与分析仪光纤连接，长距离传输无光信号衰减；
▸ 单台分析仪支持多路传感器同步采集，实现一表多点分布式监测；
▸ 配套铠装光缆，耐弯折、耐磨损，布线便捷，分析仪可集中布置于控制室远程测控。

◆安装灵活便捷，部署方式多样

▸ 传感器与采集终端物理分离，可分区布置，隔离高温、辐照、防爆高危区域；
▸ 支持垂直向下、水平侧向多种安装姿态，安装后软件一键调零消除误差。

◆规格体系完善，支持个性化定制

▸ 标准压力量程、压力接口品类齐全，
▸ 可按需定制专用量程、就地控制柜、多路集成成套监测方案。

应用领域

半导体厂务压力、液位监测
电力行业运维设备压力监测、发电设备燃气压力监测
防爆化工：气路管道、危化反应釜、腐蚀介质管路压力蒸汽监测
精密真空加工绝对压力监测
科研实验室：压力测试台、动态压力测试
油气开采：井下负压、油气输送管道监测
一般工业场景管路压力或者液位监测
通用工业过程控制领域压力监测
城市水务系统压力及泄漏监测
水利行业压力液位监测

系统指标

型号

PT-MFP-IG□-□□-□□-□□□

非标品说明

量程代码：两位数，见量程表

AP：绝压、GP：表压、DP：差压

I：一体式、S：分体式

压力范围

表 1 MEMS光学压力变送器量程表

代码	绝压<br>(PT-MFP-IG□-AP-□□-□□□)	表压<br>(PT-MFP-IG□-GP-□□-□□□)	差压<br>(PT-MFP-IG□-DP-□□-□□□)
01	1.7kPa至130kPa	–	0kPa至5kPa
02	1.7kPa至500kPa	0kPa至40kPa	0kPa至40kPa
03	1.7kPa至1000kPa	0kPa至100kPa	0kPa至100kPa
04	1.7kPa至3MPa	0kPa至500kPa	0kPa至500kPa
05	1.7kPa至6MPa	0kPa至3MPa	0kPa至3MPa
06	1.7kPa至30MPa	0kPa至6MPa	0kPa至6MPa
07	–	0kPa至30MPa	0kPa至30MPa

总体参考精度

总体性能基于正常工作条件下的基准精度、环境温度影响的综合误差，基于全温度区域-25℃~150℃系统的线性度、迟滞性和重复性等的综合精度指标。

代码	绝压<br>(PT-MFP-IG□-AP-□□-□□□)	表压<br>(PT-MFP-IG□-GP-□□-□□□)	差压<br>(PT-MFP-IG□-DP-□□-□□□)
01	±0.05% F.S	–	±1% F.S
02	±0.05% F.S	±0.1% F.S	±0.1% F.S
03	±0.05% F.S	±0.05% F.S	±0.05% F.S
04	±0.05% F.S	±0.05% F.S	±0.05% F.S
05	±0.05% F.S	±0.05% F.S	±0.05% F.S
06	±0.075% F.S	±0.05% F.S	±0.05% F.S
07	–	±0.075% F.S	±0.075%F.S

标准化技术参数

参数分类	参数名称	技术指标
测量基础	工作原理	MEMS 光学 F-P 法布里 – 珀罗干涉
测量基础	测量类型	绝压 AP / 表压 GP / 差压 DP
测量基础	标准压力量程	见表 1
精度性能	综合精度	±0.05% F.S ~ ±0.1% F.S
精度性能	分辨力	0.002%F.S
精度性能	温度漂移	每 30℃ ≤ ±0.005% F.S
精度性能	长期稳定性	月漂移 ±0.01% F.S，15 年总漂移≤0.1% F.S
动态性能	阶跃响应<br>(10%～90% F.S)	<20ms
机械性能	抗过载	3~5 倍额定压力冲击耐受，分级过压保护最高 45MPa
机械性能	振动指标	10～150Hz/3g：误差 ≤ ±0.003% FS；150～2000Hz/1g：误差 ≤ ±0.01% FS
机械性能	防护等级	一体式和分体式前置传感器 IP67、IK07；<br>分体式全光谱分析仪 IP65、IK07
温度	工作环境温度	一体式和分体式全光谱分析仪：+5℃～+55℃<br>分体式前置传感器：-25℃～+55℃
温度	工作温度	一体式：+5℃～+55℃<br>分体式全光谱分析仪：-25℃～+55℃<br>分体式前置传感器：0℃～+156℃（极限温度：-45℃～+180℃）
温度	储存温度	-40℃~+65℃
电气通讯	模拟输出	4mA—20mA、0—10V可选
电气通讯	数字通讯	MODBUS TCP/RTU、HART现场总线可选
电气通讯	供电	9V～36V，额定电压DC24V，整机功耗 4W
结构材质	主体壳体	AL6061 铝合金，可选SUS316L
结构材质	密封件	FKM 氟橡胶 O 型圈
结构材质	压力接口	1/4NPT
尺寸重量	尺寸	一体式：13892190mm（长宽高）<br>分体式前置传感器：13880190mm（长宽高）<br>分体式全光谱分析仪：15692117mm（长宽高）
尺寸重量	重量	一体式：3.6kg<br>分体式前置传感器：3kg，分体式全光谱分析仪：1.2kg
机械接口	光学接口	4芯航插、LC/APC
机械接口	电接口	4芯电连接器或端子压接式
智能功能	诊断系统	全链路故障预警
智能功能	数据功能	光谱可视化、曲线存储、定时记录
合规资质	防爆等级	整机 Ex op is Gb IIC；探头 Ex op is IIC T4 Gb
寿命质保	设计寿命	25℃洁净工况下：一体式和分体式全光谱分析仪10年<br>分体式前置传感器15年
寿命质保	质保期限	整机一年免费质保