拜安科技 - 高性能光纤传感器

MEMS光学真空计

产品概述

BA-FPP-VG 系列 MEMS 光学真空计是依托F-P 法布里-珀罗干涉+ MEMS 微加工技术开发的高精度绝压真空测量设备。MEMS光学真空计采用分体式设计理念区别于传统电学真空计，测量传感端无源工作，具备本安防爆、抗干扰能力强、耐腐蚀、耐辐照、抗强振动等技术优势，专门面向低真空工况精密压力监测。

整套系统由MEMS 光纤真空传感器+全光谱分析仪两部分光电分离组成，单台分析仪可挂载多路传感器，实现一表多点真空采集，传感器整体安装方式灵活，光电分离，传感器就近安装、无需供电、光纤长距离传输，无电磁干扰，信号在远程集中处理和显示。适配半导体、光伏、核能、电力等高严苛工业场景。

产品形态

优势特点

◆测量精度优异，长期性能稳定

▸ 最高精度 ±0.25% F.S、分辨率0.01%F.S，全温区稳定、低漂移免校准；直测介质，抗气体组分干扰。

◆无源本安，环境适应性广

▸ 无源本安防爆，抗电磁干扰；316L不锈钢+隔离膜片，耐强腐蚀，适配各类高危工艺工况。

◆可靠性高，宽温工况适配

▸ 抗振、抗 320kPa 过载，宽温补偿抑制温漂，极端工况长期稳定。

◆动态采集，瞬时响应灵敏

◆响应＜100ms、快速响应工况参数变化，满足动态工艺监测需求

◆光纤组网传输，远程运维便捷

▸ 光电分离架构光纤传输，单主机可多路同步采集，铠装光缆、布线简便可靠，便于远程集中测控。

◆智能运维，通讯协议通用

▸ 兼容多类工业标准通讯协议，4mA—20mA/（0—10）V 模拟量，TCP/RTU-MODBUS 数字以太网通讯，具备良好系统适配性与通用性。

◆规格配置齐全，定制能力突出

▸ 设备量程与接口规格体系完备，量程覆盖（0~1）torr 至（0~133.3）kPa，多种结构接口：M18 标准、KF16/KF25 真空接头可选。

应用领域

半导体行业：刻蚀、薄膜沉积、离子注入、真空腔体低真空在线监测，耐半导体腐蚀性工艺气体，避免电磁干扰影响晶圆工艺；
光伏行业：硅片镀膜、扩散炉、真空烧结、薄膜光伏生产线真空闭环控制，耐高温、抗车间设备振动；
核能行业：真空管路、辐照环境真空监测；
电力行业：变压器真空注油、GIS 真空检漏、火电厂真空脱硫管路，强电磁环境稳定测量；
通用工业真空场景：真空镀膜、真空热处理、锂电池真空注液、化工防爆真空反应釜、科研实验室低真空标定。

系统指标

序号	参数	指标
1	类型	绝压
2	原理	MEMS光学干涉
3	量程	1torr、10torr、20torr、50torr、100torr、5kPa、10kPa、16kPa、20kPa、30kPa、40kPa、133.3kPa(1000torr)
4	精度	±0.25%F.S、±0.5%F.S、±1%F.S
5	超压极限	320kPa
6	封装方式	316L 不锈钢 + 耐腐蚀合金
7	压力接口	M18内螺纹接头、KF16、KF25可选
8	采集频率	100Hz
9	工作温度	真空传感器：-20℃～+85℃；<br>分析仪：5℃～+55℃
10	储存温度	真空传感器：-20℃～+85℃；<br>分析仪：-20℃～+55℃
11	供电类型	额定电压DC 24V，功耗5W
12	尺寸	真空传感器：长度：160±5mm<br>分析仪：长：155±2mm，宽：100±2mm，高：75±2mm
13	重量	真空传感器：430±5g；分析仪：890±5g
14	安装方式	真空传感器：M18内螺纹接头、KF16、KF25可选<br>分析仪：导轨安装
15	光学接口	3/7通道：LC/APC 接口
16	响应时间	≤100ms
17	设计寿命	真空计在25℃典型运行条件下10年
18	软件功能	支持光谱显示、波长测量、物理量测量等多种工作模式，支持数据、曲线等显示方式，具有在线自诊断功能
19	通讯接口	数字接口：以太网对外通讯（标准TCP-MODBUS协议）、串口对外通讯（标准RTU-MODBUS协议）；模拟接口：（0—10）V或4mA—20mA输出