MEMS光学真空计
BA-FPP-VG系列 · F-P法布里-珀罗干涉 · 高精度绝压真空测量
产品概述
BA-FPP-VG 系列 MEMS 光学真空计是依托F-P法布里-珀罗干涉 + MEMS微加工技术开发的高精度绝压真空测量设备。采用分体式设计理念区别于传统电学真空计，测量传感端无源工作，具备本安防爆、抗干扰能力强、耐腐蚀、耐辐照、抗强振动等技术优势，专门面向低真空工况精密压力监测。
整套系统由 MEMS 光纤真空传感器 + 全光谱分析仪两部分光电分离组成，单台分析仪可挂载多路传感器，实现一表多点真空采集。传感器整体安装方式灵活，光电分离，传感器就近安装、无需供电、光纤长距离传输，无电磁干扰，信号在远程集中处理和显示。适配半导体、光伏、核能、电力等高严苛工业场景。
产品形态
分体式设计：MEMS光纤真空传感器 + 全光谱分析仪，光电分离，灵活部署。
核心优势
◆测量精度优异，长期性能稳定
- ▸ 最高精度 ±0.25% F.S
- ▸ 分辨率 0.01% F.S
- ▸ 全温区稳定、低漂移免校准
- ▸ 直测介质，抗气体组分干扰
◆无源本安，环境适应性广
- ▸ 无源本安防爆
- ▸ 抗电磁干扰
- ▸ 316L不锈钢 + 隔离膜片
- ▸ 耐强腐蚀，适配各类高危工艺工况
◆可靠性高，宽温工况适配
- ▸ 抗振性能优异
- ▸ 抗 320kPa 过载
- ▸ 宽温补偿抑制温漂
- ▸ 极端工况长期稳定
◆动态采集，瞬时响应灵敏
- ▸ 响应时间 ＜ 100ms
- ▸ 快速响应工况参数变化
- ▸ 满足动态工艺监测需求
◆光纤组网传输，远程运维便捷
- ▸ 光电分离架构光纤传输
- ▸ 单主机可多路同步采集
- ▸ 铠装光缆、布线简便可靠
- ▸ 便于远程集中测控
◆智能运维，通讯协议通用
- ▸ 兼容多类工业标准通讯协议
- ▸ 4mA-20mA / (0-10)V 模拟量输出
- ▸ TCP/RTU-MODBUS 数字以太网通讯
- ▸ 具备良好系统适配性与通用性
◆规格配置齐全，定制能力突出
- ▸ 量程覆盖（0~1）torr 至（0~133.3）kPa
- ▸ 多种结构接口：M18 标准、KF16/KF25 真空接头可选
- ▸ 设备量程与接口规格体系完备
应用领域
半导体行业
刻蚀、薄膜沉积、离子注入、真空腔体低真空在线监测，耐半导体腐蚀性工艺气体，避免电磁干扰影响晶圆工艺。
光伏行业
硅片镀膜、扩散炉、真空烧结、薄膜光伏生产线真空闭环控制，耐高温、抗车间设备振动。
核能行业
真空管路、辐照环境真空监测。
电力行业
变压器真空注油、GIS 真空检漏、火电厂真空脱硫管路，强电磁环境稳定测量。
通用工业真空场景
真空镀膜、真空热处理、锂电池真空注液、化工防爆真空反应釜、科研实验室低真空标定。
组网方案
灵活组合形式
支持一表多真空计或多表集群模式。
一对一组合：单分析仪配单真空传感器。
一对二组合：单分析仪配两台真空传感器。
一对三组合：单分析仪配三台真空传感器。
配件（可选）
安装接口转换：可根据需要转换为 KF16、KF25 等标准真空接头。
就地柜升级：分析仪可升级为就地柜，支持单台或多台设备集群部署。
高精度真空测量解决方案
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